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1、電子半導體廢(fèi)水的種類(lèi)
由於半導體公司的產品不同,各公司生產過程中產生的廢(fèi)水種類都(dōu)不一(yī)樣,各(gè)公司對產生的廢(fèi)水來源不一(yī)樣所進行的分類也不一樣。總的來水,半導體行業的廢水可(kě)以分為含氟廢水、含磷廢水(shuǐ)、有(yǒu)機廢水、研磨廢水、氨氮廢水和酸堿廢(fèi)水。如無錫華潤上華沒有含磷廢(fèi)水,上海天馬沒(méi)有研磨廢水。
2、電子(zǐ)半導體廢水的來源
含氟廢水主要(yào)來源於來自於自芯片製造過程中的擴散工序及化學機械研磨工序,在對矽片及相關器皿的清洗過程中也多次用到氫氟酸。對粘膜、上呼吸道、眼睛、皮膚(fū)組織有極強的破壞作用。汙染物主要為氟離(lí)子。含磷廢水主要來源於生產工程中的鋁刻蝕液。有機廢水,由於(yú)生產工藝的不同,有機溶劑的使用量對於半導體行業而言具有很大的差距(jù)。但是作為清洗劑,有機溶劑仍然普遍使用在製造封裝(zhuāng)的各個環節上。部分溶劑(jì)則成為有機廢水排放。有機廢水主要來源於IPA溶劑、顯影液、TO刻蝕液、酸洗塔酸堿廢水、酸洗塔有機廢水。
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